000 00455nam a22001937a 4500
003 MPLRDC
005 20220104160004.0
008 210129b ||||| |||| 00| 0 eng d
020 _a986-7892-36-4
082 _a448 ZZC
100 _a张志诚
245 _a微机电技术
_c
250 _a初版5刷
260 _a台湾
_b商周出版
_c2002
300 _b
490 _a科学新视野. 32
650 _a电气工程
942 _cBK
_o448 ZZC
999 _c54765
_d54755