TY  - BOOK
AU  - 张志诚
TI  - 微机电技术
T2  - 科学新视野. 32
SN  - 986-7892-36-4
U1  - 448 ZZC  
PY  - 2002///
CY  - 台湾
PB  - 商周出版
KW  - 电气工程
ER  -