张志诚 <br/><br/>
微机电技术 

 - 初版5刷 
 - 台湾  商周出版  2002 
 -  平 
 - 科学新视野. 32 .
<br/><br/><label>ISBN: </label>986-7892-36-4 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>电气工程
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>448 ZZC